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半导体行业应用哪些系列ASCO电磁阀-比例角座阀
来源: 时间:2022-09-29

        ASCO电磁阀适用于半导体制造领域的产品线有着行业技术加持和过硬的产品品质,产品适用以下工艺设备:扩散、镀膜、光刻、刻蚀、等离子注入、薄膜生长、抛光、金属化、清洗等。

          ASCO电磁阀

         半导体行业应用哪些系列ASCO电磁阀
1、 ASCO比例角座阀-ASCO 290系列,拥有可控的比例角座阀,能根据实际需求调节阀门开度。同时,过硬的品质让该系列适用于蚀刻水冷却、抛光水冷却等冷却工艺。
2、 ASCO电磁阀 203系列-ASCO 203系列比例阀,流量控制精度高,流量适用范围较宽广,适用于半导体生产中多种场景。
3、 ASCO Sentronic617系列-617系列产品凭借占地小,使用方便、模块化设计以及软件系统支持等多种优势,令Sentronic全系列在应用情况下都能体现出优越的产品适应性,从而优化生产过程。它617系列比例阀,适合于广泛的机械控制应用,在半导体制造领域有着应用潜力。它们用于运行关键的控制系统,可以为客户提供针对流量或压力控制需求。ASCO 617系列设计紧凑,功能多样,具备智能化易工作的交互系统。它的使用介质为惰性气体与压缩空气,可控制的压力范围从真空到16bar,可以实现全范围和高精度的压力调节,从而帮助客户灵活方便地优化工艺,提高生产效率。617系列通过先导控制系统实现低能耗(<4W),有利于厂家实现生产低能耗以及可靠持续的生产需求。当这些相关的产品组合在一起使用,更出色地发挥稳定的性能,多重保障之下为您的生产贴“芯”护航!

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