TESCOM调压器10-X系列采用自由阀芯设计，可适用于惰性气体及工艺点位用气，可覆盖2到100标准升每分钟流量范围，有助于减少维护需求和停机频率，提高系统整体可靠性。

       气体稳定压力管理TESCOM调压器10-X系列特点和应用
1.特点-工艺气体中的微小杂质都可能影响沉积质量，因此，压力与流量的稳定控制是气体供应系统的目标之一，10-X系列采用紧凑型结构与简化负载机构，高纯度设计，采用自由阀芯设计，可适用于惰性气体及工艺点位用气，在洁净室及其他关键应用环境中，有助于减少维护需求和停机频率，提高系统整体可用性。它可通过稳定的压力与流量控制减少气体输送过程中的波动，为关键工艺提供稳定的气体供应条件。
2.TESCOM调压器10-X系列应用-在等离子刻蚀、化学刻蚀以及金属CVD等应用中，压力稳定性直接影响工艺，对调压器的准确和重复性提出了高要求，10-X系列可覆盖2到100标准升每分钟流量范围，并具备压力下垂控制能力。同时，金属对金属膜片与阀体密封结构进一步增加密封完整性，为高纯度气体输送提供可靠保障。可用于半导体制造刻蚀和CVD过程，持续为半导体行业提供可靠的气体控制。